潔凈室的氣體系統

       潔凈室氣體系統施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫用氣體、可燃氣體、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗收。

       潔凈室的管材及附件

       氣體系統管道材質及附件，應按設計要求選配，如設計未作明確要求，選用時應與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質相適應，并應符合下列規定：

       1 應使用無縫管材。

       2 管材內表面吸附、解吸氣體的作用小。

       3 管材內表面應光滑、耐磨損。

       4 應具有良好的抗腐蝕性能。

       5 管材金屬組織在焊接處理時不應發生變化。

       6 負壓管道不宜采用普通碳鋼管。

       所用管材應放在室內保管，不得重疊碼放。管道應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。

       成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無破損。

       氧氣閥門必須采用專用產品，其密封圈應采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質。填料應采用經脫脂處理的聚四氟乙烯。

       采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質的附件，但在不銹鋼材質的管路中，不應采用銅質的附件。